半導(dǎo)體車間一般要達(dá)到什么凈化級別
半導(dǎo)體車間一般要達(dá)到較高的凈化級別,通常是在ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的特定級別。根據(jù)ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體車間一般要達(dá)到ISO5級(等同于舊版FS209E標(biāo)準(zhǔn)的Class100級)或更高的凈化級別。
在ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)中,不同的凈化級別對空氣中的微粒數(shù)量有不同的要求。例如,ISO5級要求每立方米空氣中的粒子直徑大于0.5微米的數(shù)量不超過3,520個,直徑大于5微米的數(shù)量為0個。而更高級別的凈化要求則更加嚴(yán)格。
實現(xiàn)這樣高凈化級別的半導(dǎo)體車間通常需要采取一系列的凈化措施,包括但不限于:
1.安裝高效過濾器和空氣凈化設(shè)備,如HEPA(高效顆??諝猓┻^濾器和ULPA(超高效顆??諝猓┻^濾器,以去除空氣中的微粒。
2.控制和維護(hù)恒定的溫度、濕度和壓力,以保持穩(wěn)定的環(huán)境條件。
3.確保車間內(nèi)的清潔程度,包括定期清潔地面、墻壁、設(shè)備和工作臺等。
4.限制人員進(jìn)入車間,并采取適當(dāng)?shù)墓ぷ鞣?、鞋套和手套等防護(hù)措施,以減少人員帶入的微粒。
這些凈化措施的目的是為了保證半導(dǎo)體制造過程中的產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性,因為微小的顆??赡軙Π雽?dǎo)體器件的性能產(chǎn)生重大影響。因此,半導(dǎo)體車間需要達(dá)到較高的凈化級別來確保良好的生產(chǎn)環(huán)境。
點擊排行榜
- 潔凈工程保證實際使用效果的三大要素
- 無塵車間裝修需要多長時間呢
- 江門潔凈廠房設(shè)計不可忽視的9點
- 潔凈車間的優(yōu)勢以及適合的行業(yè)應(yīng)用
- 潔凈車間平時該如何保養(yǎng)維護(hù)
- 凈化車間選材要注意哪些
- 無塵車間工程的特點及作用
- 對潔凈車間使用的基本要求有哪些
- 科瓦特:2017年元旦放假安排
- 很多行業(yè)不得不選擇潔凈工程
最新相關(guān)文章
- 潔凈室裝修與設(shè)計專題介紹
- 精密儀器生產(chǎn)潔凈廠房空氣凈化設(shè)備的安裝要領(lǐng)
- 潔凈工程主要的組成結(jié)構(gòu)
- 震驚,萬級潔凈室報價的原因竟然是這!
- 手術(shù)室潔凈工程有何標(biāo)準(zhǔn)
- 做一個潔凈工程需要多少錢
- 怎樣對潔凈手術(shù)室進(jìn)行綜合性能檢測
- 十萬級無塵車間需要什么設(shè)備
- 無塵車間該怎樣清潔呢?
- 規(guī)劃潔凈室需要我們注意的要點
成功案例
![]() |
立訊(常熟)千級凈化車間 |
![]() |
中山全康醫(yī)療科技公司凈化車間 |
![]() |
廣州海瑞藥業(yè)GMP凈化車間 |
![]() |
長沙天儀研究院潔凈車間工程 |
![]() |
長沙電子材料潔凈車間 |